Некоторые методы, которые используются для создания искусственной плазмы в промышленности:
- Генерация в потенциальном поле постоянного тока. 2 На два электрода подают постоянное напряжение, при этом разность потенциалов должна быть достаточной для ионизации молекул газа, находящегося в межэлектродном пространстве. 2 В зависимости от взаимного расположения и формы электродов, приложенного напряжения и протекающего тока могут возникать коронный, тлеющий и дуговой разряды. 2
- Генерация в потенциале переменного тока. 2 Микроразряды возникают при приложении тока к электродам, один или оба из которых покрыты диэлектрическим материалом. 2 Это позволяет избежать загрязнения продуктов, так как отсутствует контакт между реакционной массой и электродом. 2
- Генерация высокочастотным излучением. 2 РЧ-излучение ионизирует газ при низких давлениях (1–1000 Па) и частоте тока в диапазоне 1–100 МГц. 2 Такой вид плазмы может применяться, например, для модификации внутренних поверхностей изделий. 2
- Инжекция. 4 Газовые ионы разгоняют в ускорителе до очень большой скорости и впрыскивают в магнитную ловушку с газом. 4 Сразу получается горячая плазма. 4