Для производства полупроводниковых сверхрешёток используются следующие методы:

• Молекулярно-лучевая эпитаксия (МПЭ). 13 Позволяет формировать монокристаллические слои различных материалов в условиях сверхвысокого вакуума. 1
• Рост из газовой фазы с использованием металлоорганических соединений (РГФ МОС). 1 В этом методе используется процесс эпитаксиального роста материалов на нагретой подложке при термическом разложении металлорганических соединений. 1
• Жидкофазная эпитаксия. 1 Монокристаллические слои получают из контактирующих с подложкой пересыщенных растворов. 1 С понижением температуры избыточное количество полупроводника осаждается из раствора на подложку. 1