В современных технологиях для создания сверхтонких диэлектрических плёнок используются различные материалы, например:
Оксиды гафния и алюминия. cyberleninka.ru Плёнки из них имеют невысокую воспроизводимость свойств из-за диссоциации оксидов в процессе напыления. cyberleninka.ru
Твёрдые растворы оксидов циркония и иттрия. cyberleninka.ru По сравнению с чистыми оксидами плёнки твёрдых растворов обладают более высокой химической устойчивостью и стабильностью. cyberleninka.ru
Диоксид кремния (SiO2) и нитрид кремния (SiN). www.researchgate.net Эти неорганические диэлектрические материалы востребованы в технологиях микро-опто-электромеханических систем, оптических и нанотехнологических устройств. www.researchgate.net
Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.