В современных технологиях для создания сверхтонких диэлектрических плёнок используются различные материалы, например:

• Оксиды гафния и алюминия. 2 Плёнки из них имеют невысокую воспроизводимость свойств из-за диссоциации оксидов в процессе напыления. 2
• Диоксид кремния. 24 Плёнки из этого материала обладают невысокими электрическими характеристиками. 2
• Оксид иттрия. 2 Показал высокие изолирующие свойства. 2
• Твёрдые растворы оксидов циркония и иттрия. 2 По сравнению с чистыми оксидами плёнки твёрдых растворов обладают более высокой химической устойчивостью и стабильностью. 2
• Диоксид кремния (SiO2) и нитрид кремния (SiN). 4 Эти неорганические диэлектрические материалы востребованы в технологиях микро-опто-электромеханических систем, оптических и нанотехнологических устройств. 4