В пьезоэлектрических датчиках используются различные материалы, включая:

• Кварц. 15 Это высокотермостабильный и высокодобротный материал, который позволяет создавать резонаторы с большим диапазоном частот (от сотен герц до МГц). 1
• Танталат лития. 1
• Ниобат лития. 1
• Пьезокерамику. 13 Например, материалы на основе титаната бария BaTiO3 (ТБ-1 и др.), твёрдых растворов титаната — цирконата свинца (ЦТС-22, ЦТС-23 и др.), метаниобата свинца (НБС-1 и др.). 5