Для изготовления вакуумных систем используют разные материалы, среди них:

• Стекло. 13 Из него делают вакуумные трубопроводы, смотровые окна, оболочки рабочих вакуумных камер. 1 Стекло обладает прозрачностью, хорошими электроизолирующими свойствами, низкой газопроницаемостью и химической стойкостью. 1
• Керамика. 1 Из неё изготавливают изоляторы, электрические вакуумные вводы, детали уплотняющих клапанных пар, направляющие координатные столы. 1
• Вакуумная резина. 1 Благодаря своим упругим свойствам она незаменима для вакуумных уплотнителей. 1 Резину используют также в качестве мембран и гибких перегородок вводов движения в вакуум. 1
• Фторопласт. 1 Из него делают мембраны, сильфоны, подшипники скольжения, направляющие уплотнители в разъёмных и подвижных соединениях. 1
• Тугоплавкие металлы. 1 К ним относятся вольфрам, молибден и их сплавы, ниобий, тантал. 1 Вольфрам используют в виде проволоки в качестве тел нагрева различного назначения. 1
• Пластмассы. 1 В вакуумной технике применяют термопласты типа полиэтилена, политетрафторэтилена (ПТФЭ), органического стекла, полиуретанов. 1 Из полиэтилена изготовляют шланги и трубы для вакуумных трубопроводов, из полиуретана — герметичные деформируемые камеры, например, в безмасляных вакуумных насосах. 1

Также для изготовления вакуумных систем используют вакуумные лаки, смазочные материалы, замазки, герметики, вакуумные цементы и клеи. 1