Для изготовления вакуумных систем используют разные материалы, среди них:
- Стекло. techeiscatel.ru agrovodcom.ru Из него делают вакуумные трубопроводы, смотровые окна, оболочки рабочих вакуумных камер. techeiscatel.ru Стекло обладает прозрачностью, хорошими электроизолирующими свойствами, низкой газопроницаемостью и химической стойкостью. techeiscatel.ru
- Керамика. techeiscatel.ru Из неё изготавливают изоляторы, электрические вакуумные вводы, детали уплотняющих клапанных пар, направляющие координатные столы. techeiscatel.ru
- Вакуумная резина. techeiscatel.ru Благодаря своим упругим свойствам она незаменима для вакуумных уплотнителей. techeiscatel.ru Резину используют также в качестве мембран и гибких перегородок вводов движения в вакуум. techeiscatel.ru
- Фторопласт. techeiscatel.ru Из него делают мембраны, сильфоны, подшипники скольжения, направляющие уплотнители в разъёмных и подвижных соединениях. techeiscatel.ru
- Тугоплавкие металлы. techeiscatel.ru К ним относятся вольфрам, молибден и их сплавы, ниобий, тантал. techeiscatel.ru Вольфрам используют в виде проволоки в качестве тел нагрева различного назначения. techeiscatel.ru
- Пластмассы. techeiscatel.ru В вакуумной технике применяют термопласты типа полиэтилена, политетрафторэтилена (ПТФЭ), органического стекла, полиуретанов. techeiscatel.ru Из полиэтилена изготовляют шланги и трубы для вакуумных трубопроводов, из полиуретана — герметичные деформируемые камеры, например, в безмасляных вакуумных насосах. techeiscatel.ru
Также для изготовления вакуумных систем используют вакуумные лаки, смазочные материалы, замазки, герметики, вакуумные цементы и клеи. techeiscatel.ru