Некоторые инновационные технологии, которые применяются при производстве микрооптических устройств:
- Наноимпринтная литография (НИЛ). 2 Позволяет создавать сложные оптические структуры без увеличения производственных затрат. 2 Нет ограничений по форме получаемых компонентов, что даёт возможность получать на уровне пластин широкий спектр оптических компонентов. 2
- УФ-формование. 25 В этой технологии применяются прозрачные штампы для воспроизведения заданных форм в полимерах, отверждаемых УФ-излучением. 25
- Двухфотонная литография в оттенках серого (2GL). 4 Обеспечивает высокоточную печать конструкций с чрезвычайно гладкими поверхностями. 4 Скорость печати во много раз выше, чем при 3D-печати, что позволяет выполнять быстрые итерации проектирования. 4
- Формирование линз на уровне пластины. 25 Оптический элемент форматируется на пластине с уже сформированными кристаллами, а не в корпусе после установки в него кристалла. 25 Это позволяет реализовать высокопроизводительные устройства очень малых размеров, которые могут производиться тысячами одновременно. 25