Вопросы к Поиску с Алисой

Примеры ответов Поиска с Алисой
Главная / Технологии / Какие достижения были сделаны в технологии фотолитографии за последние десятилетия?
Вопрос для Поиска с Алисой
19 марта

Какие достижения были сделаны в технологии фотолитографии за последние десятилетия?

Алиса
На основе источников, возможны неточности

Некоторые достижения в технологии фотолитографии за последние десятилетия:

  • Развитие технологии глубокого ультрафиолета (DUV). tesstech.ru В современных установках источником света служит эксимерный лазер с длиной волны 365, 248, 193 нм. tesstech.ru Эта технология позволяет достигать техпроцесса с точностью 22 нм. tesstech.ru
  • Создание технологии экстремального ультрафиолета (EUV). tesstech.ru topwar.ru Эта технология позволила достигнуть техпроцесса с точностью 7 нм. tesstech.ru Для EUV вместо источника света используют плазму, получаемую путём распыления олова в вакууме с последующей обработкой лазером с длиной волны 13,5 нм. tesstech.ru
  • Разработка безмасочной рентгеновской нанолитографии. topwar.ru Эта технология не требует создания фотошаблонов и позволяет легко вносить модификации при производстве конечной продукции. tesstech.ru Она может достигать техпроцесса менее 10 нм. tesstech.ru
  • Прогресс в области многолучевых записывающих машин. dzen.ru В таких системах для ускорения производства и повышения качества используются тысячи параллельных электронных лучей. dzen.ru
Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.
Задать новый вопрос
Задайте вопрос...
…и сразу получите ответ в Поиске с Алисой
Войдите, чтобы поставить лайк
С Яндекс ID это займёт пару секунд
Войти
Mon Jul 28 2025 17:04:21 GMT+0300 (Moscow Standard Time)