Как устроены установки контактной фотолитографии?

Установки контактной фотолитографии обычно содержат следующие элементы: yandex.ru

• Рабочий столик. yandex.ru Выполнен с возможностью фиксации подложки и управляемого перемещения в вертикальной плоскости. yandex.ru
• Шаблонодержатель. yandex.ru Установлен над рабочим столиком. yandex.ru
• Микроскоп. yandex.ru Используется для контроля совмещения изображения шаблона и подложки. yandex.ru
• Светодиодное ультрафиолетовое осветительное устройство. yandex.ru Опционально снабжено устройством охлаждения. yandex.ru
• Пневмоэлектрическая система управления. yandex.ru Обеспечивает взаимное перемещение компонентов устройства. yandex.ru
• Блок управления осветителя. yandex.ru Позволяет выбирать режим работы и контролировать состояние осветительного устройства. yandex.ru

Работа установки заключается в перенесении изображений шаблона на подложку: yandex.ru

1. Шаблон устанавливают на шаблонодержатель, фиксируют и ориентируют таким образом, чтобы знаки совмещения на шаблоне находились в поле зрения объективов микроскопа. yandex.ru
2. Управление перемещением элементов устройства осуществляют при помощи манипуляторов. yandex.ru
3. Подложку укладывают на рабочий столик и удерживают на нём вакуумом. yandex.ru
4. Рабочий столик вместе с подложкой поднимают вертикально вверх до упора подложкой в шаблон. yandex.ru При этом за счёт изменения угла рабочей поверхности столика происходит выравнивание подложки в плоскости, параллельной рабочей плоскости шаблона, установленного на шаблонодержатель. yandex.ru
5. Рабочий столик с подложкой опускают вниз и останавливают на необходимом расстоянии от шаблона. yandex.ru

Для более равномерного экспонирования часто используется вакуумный контакт, при котором между поверхностью пластины и фотошаблоном удаляется воздух. npk-eoms.ru