Как устроены и работают емкостные сенсоры давления?

Ёмкостный датчик давления — это электронный преобразователь, который измеряет давление через изменение электрической ёмкости конденсатора в чувствительном элементе. iteraprom.ru В роли воспринимающего элемента обычно выступает тонкая упругая диафрагма, образующая одну из обкладок конденсатора и реагирующая на давление процесса. iteraprom.ru

Типичный ёмкостный датчик давления состоит из: iteraprom.ru

• корпуса сенсора; iteraprom.ru
• изолирующих диафрагм; iteraprom.ru
• заполненной жидкостью; iteraprom.ru
• центральной чувствительной диафрагмы; iteraprom.ru
• электродов конденсатора; iteraprom.ru
• электронного модуля обработки сигнала. iteraprom.ru

Внешние диафрагмы разделяют агрессивную или загрязнённую среду процесса и тонкую чувствительную часть, передавая давление через инертную заполняющую жидкость. iteraprom.ru Конденсатор может быть выполнен в виде плоской или кольцевой структуры, иногда в многосекционном варианте для повышения точности и температурной стабильности. iteraprom.ru

Принцип работы: рабочее и опорное давление передаются через заполняющую жидкость к чувствительной диафрагме, а электронный модуль регистрирует изменение ёмкости и преобразует его в токовый или цифровой выходной сигнал. iteraprom.ru

В датчиках избыточного давления на сторону низкого давления чувствительной диафрагмы подаётся атмосферное давление, в датчиках абсолютного давления — эталонное давление. metran.ru Деформация чувствительной диафрагмы пропорциональна давлению. metran.ru