Как тлеющий разряд применяется в современных плазменных технологиях?

Тлеющий разряд широко применяется в современных плазменных технологиях. earchive.tpu.ru Некоторые области использования:

• Плазмохимическая обработка материалов. earchive.tpu.ru Тлеющий разряд зажигают в откачиваемой металлической камере, куда помещают обрабатываемую деталь. earchive.tpu.ru Заряженные частицы в плазме бомбардируют поверхность детали, в результате чего изменяется её химическая и кристаллическая структура, а также свойства (твёрдость, химическая и термическая стойкость и другие). earchive.tpu.ru
• Осаждение тонких плёнок. ru.kindle-tech.com Тлеющий разряд используется в процессе плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD). ru.kindle-tech.com Контроль над параметрами плазмы позволяет точно регулировать химический состав, микроструктуру и электрические свойства осаждаемых плёнок. ru.kindle-tech.com
• Плазменная химико-термическая обработка металлов. www.plasmacentre.ru Изделия погружают в плазму тлеющего разряда, который горит между катодом (изделиями) и анодом (стенками вакуумной камеры) и содержит необходимый насыщающий элемент. www.plasmacentre.ru В результате повышается твёрдость, износостойкость, усталостная прочность, задиростойкость, теплостойкость и коррозионная стойкость металлов. www.plasmacentre.ru
• Обеззараживание. earchive.tpu.ru За счёт содержания химически активных частиц в плазменной струе происходит эффективное обеззараживание экспериментальных образцов. earchive.tpu.ru
• Поддержание горения. earchive.tpu.ru Применение плазмы тлеющего разряда в системе поддержания горения позволяет регулировать стехиометрические соотношения горючее/окислитель и получить тепловую мощность при сгорании углеводородов, превышающую затрачиваемую электрическую мощность независимо от внешних факторов. earchive.tpu.ru