Как сублимация используется в производстве полупроводников?

Сублимация используется в производстве полупроводников для выращивания слитков карбида кремния (SiC). stimul.online Процесс происходит в специализированных печах, где тигли, заполненные порошком SiC и затравочными кристаллами, нагреваются до температуры 2500 °C. stimul.online Контролируемая среда внутри печи, включая низкое давление и подачу специальных газов, способствует росту кристаллов SiC. stimul.online

Также сублимация применяется для выращивания эпитаксиальных слоёв совершенной структуры. yandex.ru Это происходит путём резистивного нагрева источника испаряемого материала. yandex.ru Достоинство метода в том, что при таком нагреве можно резко изменять температуру источников и, тем самым, концентрацию примесей в структуре. yandex.ru