Технология MEMS (микроэлектромеханические системы) в производстве высокоточных датчиков продолжает развиваться и адаптироваться к возрастающим требованиям в области авиации и аэрокосмической индустрии. 1

Некоторые направления развития:

• Использование новых материалов и улучшенных методов проектирования. 1 Это позволяет создавать датчики с лучшими характеристиками, такими как повышенная чувствительность, уменьшенный шум и расширенный диапазон рабочих параметров. 1
• Разработка и интеграция беспроводных технологий передачи данных и энергии для МЭМС-датчиков. 1 Это позволит упростить интеграцию датчиков в системы, сократить массу и размеры аппаратуры. 1
• Использование энергохарвестинга — получения энергии из окружающей среды, для питания МЭМС-датчиков. 1 Это снизит их энергопотребление и увеличит время работы. 1
• Групповое изготовление датчиков. 2 Это снижает трудоёмкость производства, минимизирует сборочно-монтажные операции, что ведёт к уменьшению себестоимости и повышению надёжности. 2

В 2021 году сообщалось, что освоенные технологии позволили обеспечить формирование кремниевых упругих элементов МЭМС-акселерометров и гироскопов с точностью объёмных размеров до 1 мкм, а также увеличить точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов в 5 раз по сравнению с традиционной технологией. 2