Как развивается технология MEMS в производстве высокоточных датчиков?

Технология MEMS (микроэлектромеханические системы) в производстве высокоточных датчиков продолжает развиваться и адаптироваться к возрастающим требованиям в области авиации и аэрокосмической индустрии. tellur-el.ru

Некоторые направления развития:

• Использование новых материалов и улучшенных методов проектирования. tellur-el.ru Это позволяет создавать датчики с лучшими характеристиками, такими как повышенная чувствительность, уменьшенный шум и расширенный диапазон рабочих параметров. tellur-el.ru
• Разработка и интеграция беспроводных технологий передачи данных и энергии для МЭМС-датчиков. tellur-el.ru Это позволит упростить интеграцию датчиков в системы, сократить массу и размеры аппаратуры. tellur-el.ru
• Использование энергохарвестинга — получения энергии из окружающей среды, для питания МЭМС-датчиков. tellur-el.ru Это снизит их энергопотребление и увеличит время работы. tellur-el.ru
• Групповое изготовление датчиков. spacedevice.ru Это снижает трудоёмкость производства, минимизирует сборочно-монтажные операции, что ведёт к уменьшению себестоимости и повышению надёжности. spacedevice.ru

В 2021 году сообщалось, что освоенные технологии позволили обеспечить формирование кремниевых упругих элементов МЭМС-акселерометров и гироскопов с точностью объёмных размеров до 1 мкм, а также увеличить точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов в 5 раз по сравнению с традиционной технологией. spacedevice.ru