Принцип работы вакуумного спирального насоса основан на образовании полостей с откачиваемым газом и последующем уменьшении их объёма. 5 Газ в полости сжимается и затем выбрасывается в атмосферу. 5
Работа насоса включает несколько фаз: 1
Одна спираль остаётся неподвижной, вторая приводится в движение с помощью двигателя. 3 Благодаря неподвижности одной спирали удаётся сформировать зазоры, через которые поступает газ. 3 Вторая совершает орбитальное вращение, обеспечивая смещение находящегося внутри газа. 3
Рабочие объёмы всасывания и сжатия отделяются друг от друга другими полостями, находящимися между ними и полностью изолирующими эти участки. 2 Такой принцип позволяет исключить перетекание и обособить участки высокого и низкого давления. 2
Число оборотов спирали соответствует полному циклу перекачки, то есть объём всасываемого воздуха равен объёму рабочих полостей. 2