Технология просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) позволяет изучать структуру материалов на атомном уровне, а также проводить анализ состава, свойств и строения внутренних и приповерхностных слоёв исследуемых образцов. 5

Принцип работы основан на прохождении электронного пучка через ультратонкие образцы. 5 Электроны, прошедшие сквозь образец, фокусируются на устройстве формирования изображения: флюоресцентном экране, фотопластинке или сенсоре ПЗС-камеры. 1

Некоторые области применения ПЭМ в промышленности:

• Материаловедение. 5 ПЭМ помогает анализировать микроструктуру металлов, полимеров и наноматериалов. 5
• Полупроводниковая промышленность. 5 ПЭМ играет ключевую роль в разработке новых чипов и микросхем. 5

В состав ПЭМ входят следующие компоненты: 2

• Вакуумная система для удаления воздуха и увеличения длины свободного пробега электронов. 2
• Предметный столик с держателем образца, механизмами для изменения положения держателя в процессе работы и вакуумными шлюзами. 2
• Источник электронов: электронный прожектор (электронная пушка) для создания освещающего потока (пучка) электронов. 2
• Источник высокого напряжения для ускорения электронов. 2
• Апертуры — диафрагмы, ограничивающие расходимость электронного пучка. 2
• Система электромагнитных линз (и иногда электростатических линз) для управления и фокусировки электронного луча. 2
• Флуоресцирующий экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение. 2

Так как поток электронов сильно поглощается веществом, изучаемые образцы должны иметь очень маленькую толщину. 2