Пьезоэлектрический двигатель работает следующим образом:

В основе работы двигателей вращения лежит принцип, согласно которому все точки пьезоэлемента, входящие в контакт с ротором, должны двигаться по траекториям близким к эллиптическим. 1 Для этого в пьезоэлементе одновременно возбуждают два типа взаимно ортогональных колебаний. 1

В простейшем моторе в пьезоэлементе электрически возбуждены продольные по длине волны, а поперечные волны — изгибные возбуждаются при движении конца пьезоэлемента по поверхности ротора. 1 Размеры пьезоэлемента подбираются так, чтобы был механический резонанс и продольных и поперечных колебаний. 1

В линейном пьезодвигателе, на «гибкий» статор подаётся переменное напряжение высокой частоты, которое вынуждает его производить ультразвуковые колебания, формирующие механическую бегущую волну, которая и толкает расположенный рядом ротор. 12