Принцип работы MEMS-акселерометра в современных устройствах основан на смещении подвижной массы внутри датчика при воздействии ускорения. 4

Основным элементом устройства служит подвижная масса, подвешенная на гибких балках. 4 При изменении ускорения масса смещается, что приводит к изменению электрического сигнала. 4 Этот сигнал фиксируется встроенной электроникой и обрабатывается для определения ускорения в разных осях. 4

Для измерения смещения массы обычно применяются ёмкостные или пьезоэлектрические методы. 4 В ёмкостных датчиках измерение происходит за счёт изменения ёмкости между подвижной и неподвижной частями, а в пьезоэлектрических датчиках используется напряжение, возникающее при деформации пьезоэлементов. 4

Современные акселерометры имеют три измерительные оси, которые направлены перпендикулярно друг другу. 1 Благодаря этому можно измерять ускорение объекта в любом направлении. 1