Как работает литографическая установка степпер?

Работа литографической установки степпера над каждой полупроводниковой пластиной состоит из двух этапов: ru.ruwiki.ru

1. Позиционирование. ru.ruwiki.ru Каждое экспонирование производится небольшими прямоугольными участками (порядка нескольких см²). ru.ruwiki.ru Для экспонирования всей пластины её передвигают шагами, кратными размеру экспонируемой области. ru.ruwiki.ru После каждого передвижения проводится дополнительная проверка правильности позиционирования. ru.ruwiki.ru
2. Экспонирование. ru.ruwiki.ru Снимку экспонируют светом от системы подсветки, который проходит через сетку, уменьшающую линзу и попадает на поверхность пластины. en.wikipedia.org Программа обработки определяет продолжительность экспозиции, используемую сетку и другие факторы, влияющие на экспозицию. en.wikipedia.org

Когда все снимки на пластине сделаны, робот-загрузчик пластин выгружает пластину, и её место занимает другая пластина. en.wikipedia.org Экспонированная пластина перемещается в проявитель, где фоторезист на её поверхности подвергается воздействию проявляющих химических веществ. en.wikipedia.org Затем обработанная поверхность подвергается другим процессам фотолитографии. en.wikipedia.org

Современные литографические установки могут использовать не шаговый, а сканирующий режим работы (сканнеры). ru.ruwiki.ru При экспонировании в таком режиме пластина и маска передвигаются в противоположных направлениях. ru.ruwiki.ru