Как работает ионно-плазменное травление в современной промышленности?

Ионно-плазменное травление в современной промышленности работает в вакуумной камере, где плазменный разряд создаётся с использованием комбинации реактивных газов и радиочастотной энергии. 1

Процесс включает в себя следующие этапы: 1

1. Генерация плазмы. 1 В камеру вводится газ низкого давления, например, кислород, фтор или хлор. 1
2. Ускорение ионов. 1 Радиочастотное электрическое поле ионизирует газ, создавая плазму с реактивными ионами и свободными радикалами. 1
3. Травление материалов. 1 Ускоренные ионы вступают в химическую реакцию с поверхностью подложки, удаляя целевой материал. 1

Некоторые преимущества плазменного травления:

• Универсальность. 3 Может использоваться для удаления различных типов материалов, включая металлы, пластмассы, стекло и керамику. 3
• Высокая точность. 3 Обеспечивает контроль при удалении материала, что позволяет достичь требуемых размеров и форм. 3
• Минимальное воздействие на окружающую среду. 3 Не использует химические растворы или абразивные материалы, что делает его более экологически чистым по сравнению с другими методами удаления материала. 3
• Высокая скорость и эффективность. 3 Обладает высокой скоростью удаления материала и может быть применено для обработки больших поверхностей за короткое время. 3
• Возможность обработки сложных форм. 3 Может использоваться для обработки поверхностей со сложной геометрией, такой как закругления, углы и канавки. 3
• Минимальные деформации материала. 3 Обеспечивает минимальные деформации материала, что особенно важно при работе с тонкими и чувствительными поверхностями. 3
• Возможность контроля глубины удаления материала. 3 Позволяет точно контролировать глубину удаления материала, что полезно при создании определённых профилей или отверстий. 3

Ионно-плазменное травление используется в электронике, медицинской промышленности, авиационной и космической промышленности, пищевой промышленности и автомобильной промышленности. 3