Как работает ионно-плазменное травление в современной промышленности?

Ионно-плазменное травление в современной промышленности работает в вакуумной камере, где плазменный разряд создаётся с использованием комбинации реактивных газов и радиочастотной энергии. www.keylinktech.com

Процесс включает в себя следующие этапы: www.keylinktech.com

1. Генерация плазмы. www.keylinktech.com В камеру вводится газ низкого давления, например, кислород, фтор или хлор. www.keylinktech.com
2. Ускорение ионов. www.keylinktech.com Радиочастотное электрическое поле ионизирует газ, создавая плазму с реактивными ионами и свободными радикалами. www.keylinktech.com
3. Травление материалов. www.keylinktech.com Ускоренные ионы вступают в химическую реакцию с поверхностью подложки, удаляя целевой материал. www.keylinktech.com

Некоторые преимущества плазменного травления:

• Универсальность. gn-tech.ru Может использоваться для удаления различных типов материалов, включая металлы, пластмассы, стекло и керамику. gn-tech.ru
• Высокая точность. gn-tech.ru Обеспечивает контроль при удалении материала, что позволяет достичь требуемых размеров и форм. gn-tech.ru
• Минимальное воздействие на окружающую среду. gn-tech.ru Не использует химические растворы или абразивные материалы, что делает его более экологически чистым по сравнению с другими методами удаления материала. gn-tech.ru
• Высокая скорость и эффективность. gn-tech.ru Обладает высокой скоростью удаления материала и может быть применено для обработки больших поверхностей за короткое время. gn-tech.ru
• Возможность обработки сложных форм. gn-tech.ru Может использоваться для обработки поверхностей со сложной геометрией, такой как закругления, углы и канавки. gn-tech.ru
• Минимальные деформации материала. gn-tech.ru Обеспечивает минимальные деформации материала, что особенно важно при работе с тонкими и чувствительными поверхностями. gn-tech.ru
• Возможность контроля глубины удаления материала. gn-tech.ru Позволяет точно контролировать глубину удаления материала, что полезно при создании определённых профилей или отверстий. gn-tech.ru

Ионно-плазменное травление используется в электронике, медицинской промышленности, авиационной и космической промышленности, пищевой промышленности и автомобильной промышленности. gn-tech.ru