Как работает электронная пушка в вакуумной камере?

Электронная пушка в вакуумной камере работает по следующему принципу: испускаемые катодом электроны получают ускорение в электрическом поле и формируются электромагнитными полями в электронный пучок или луч. eti.su

Процесс происходит так:

1. При повышении рабочего давления в пушке до уровня 0,01–0,1 мм рт. ст. и при приложении высокого напряжения (1–30 кВ) между катодом и анодом в разрядном пространстве пушки развивается высоковольтный тлеющий разряд. www.eprussia.ru
2. Положительные ионы, вытягиваемые электрическим полем с границы плазмы, двигаясь к катоду, претерпевают многократную перезарядку. www.eprussia.ru
3. Поверхность катода бомбардируется потоком ионов и быстрых нейтральных частиц (атомов и молекул), что вызывает эмиссию электронов и нагрев катода. www.eprussia.ru
4. Электроны, ускоряясь в области катодного падения, формируются в сходящийся электронный луч, ионизуя при этом рабочий газ в разрядном пространстве. www.eprussia.ru
5. Электронный луч выводится из разрядного пространства в технологическую камеру через анодное отверстие, попадая по дороге в магнитные поля магнитной линзы и отклоняющей системы, с помощью которых осуществляется его фокусировка, развёртка и перемещение на мишени. www.eprussia.ru