Как происходит травление кремния азотной кислотой?

Травление кремния азотной кислотой происходит в две стадии: 3

1. Окисление кремния. 3 Азотная кислота окисляет кремний (Si) до оксида (SiO2). 3
2. Растворение образовавшегося окисла. 3 Для этого используют плавиковую кислоту. 3

Общее уравнение реакции травления кремния смесью плавиковой и азотной кислот: Si + 2HNO3 + 6HF → H2SiF6 + 2HNO2 + 2H2O. 23

На скорость травления и профиль фигур травления влияют разные факторы, например состав травителя, температура процесса, наличие или отсутствие перемешивания, дефекты в материале полупроводника. 3

При травлении кислотный травильный раствор быстро разогревается до температуры кипения, при этом скорость травления многократно возрастает. 4