Как происходит травление кремния азотной кислотой?

Травление кремния азотной кислотой происходит в две стадии: rep.bntu.by

1. Окисление кремния. rep.bntu.by Азотная кислота окисляет кремний (Si) до оксида (SiO2). rep.bntu.by
2. Растворение образовавшегося окисла. rep.bntu.by Для этого используют плавиковую кислоту. rep.bntu.by

Общее уравнение реакции травления кремния смесью плавиковой и азотной кислот: Si + 2HNO3 + 6HF → H2SiF6 + 2HNO2 + 2H2O. www.isuct.ru rep.bntu.by

На скорость травления и профиль фигур травления влияют разные факторы, например состав травителя, температура процесса, наличие или отсутствие перемешивания, дефекты в материале полупроводника. rep.bntu.by

При травлении кислотный травильный раствор быстро разогревается до температуры кипения, при этом скорость травления многократно возрастает. ru.wikipedia.org