Как происходит производство кремния из диоксида кремния?

Производство кремния из диоксида кремния происходит в несколько этапов: studizba.com

1. Получение технического (металлургического) кремния. studizba.com Восстановление ведётся карботермическим процессом за счёт взаимодействия диоксида кремния с углеродом при температуре около 1800 °С. studizba.com Исходное сырьё вносится в состав шихты в виде кварцита — кварцевого песка, содержащего не менее 98% SiO2. studizba.com Углерод получается из древесного угля, кокса, сажи, древесной щепы. studizba.com Процесс ведётся в дуговых электропечах. studizba.com
2. Получение и очистка трихлорсилана. studizba.com Для последующей очистки кремний превращают в газообразное соединение: его хлорируют до получения газообразного трихлорсилана (ТХС). studizba.com Газообразный ТХС пропускается через циклоны и фильтры для выделения твёрдых частиц. studizba.com Далее парогазовая смесь поступает на конденсацию, дистилляционное разделение и многократную обработку в ректификационных колоннах. studizba.com
3. Получение поликремния методом водородного восстановления. studizba.com Очищенный ТХС является основным сырьём для получения чистого поликремния. studizba.com Для этого чаще всего применяется процесс и реактор фирмы «Сименс» (Siemens) — это процесс химического осаждения поликремния из газовой фазы (chemical vapore deposition, CVD). studizba.com
4. Выращивание монокристаллов. studizba.com Полученный поликристаллический кремний идёт на изготовление моно- и мультикристаллических слитков для использования их в полупроводниковом производстве. patents.google.com