Процесс наслаивания материалов в промышленности может происходить с использованием различных методов, например:
- Молекулярное наслаивание (ALD). nanocomposites.spbu.ru ecml.ru Это химический метод нанесения тонких плёнок веществ на подложку из газовой фазы. nanocomposites.spbu.ru Процесс состоит из нескольких циклических этапов: ecml.ru
- Экспозиция предшественника. ecml.ru На поверхность субстрата подаётся первый реактивный газ, молекулы которого химически адсорбируются на поверхности, образуя монослой. ecml.ru
- Промывка (пуржирование). ecml.ru Для удаления излишков неадсорбированных молекул предшественника и побочных продуктов реакции из реакционной камеры вводится инертный газ (например, аргон или азот). ecml.ru
- Экспозиция второго реактива. ecml.ru В камеру вводится второй реактивный газ, который вступает в реакцию с адсорбированными молекулами первого предшественника, формируя тонкий атомарный слой материала. ecml.ru Эти этапы составляют один цикл ALD, и повторение цикла позволяет наращивать слои атом за атомом до достижения необходимой толщины покрытия. ecml.ru
- Ионное наслаивание (ИН). ru.wikipedia.org Это один из методов послойного синтеза наноматериалов с участием растворов реагентов и подложки из дисперсного или блочного вещества, на поверхности которой происходит синтез. ru.wikipedia.org Реагентами при синтезе являются растворы солей металлов или полиэлектролитов, содержащие катионы и анионы, которые в процессе взаимодействия в слое адсорбированных ионов образуют на поверхности подложки нанослой труднорастворимого соединения. ru.wikipedia.org
Также существует метод наслаивания листовых элементов. yandex.ru Для этого используется устройство, которое содержит стол, манипулятор для наслаивания листовых элементов, прижимное приспособление для прижима собираемого многослойного изделия из наслоенных на столе листовых элементов, модуль приведения в действие прижимного приспособления и модуль регулирования уровня. yandex.ru