Как происходит процесс изготовления дифракционных решеток в промышленных условиях?

Процесс изготовления дифракционной решётки в промышленных условиях может включать следующие этапы: yandex.ru

1. Вакуумное нанесение алюминиевого покрытия на стеклянную подложку. yandex.ru
2. Формирование штрихов треугольного микропрофиля алмазным резцом делительной машины. yandex.ru
3. Помещение дифракционной решётки в вакуумную камеру для ионно-лучевого травления. yandex.ru На этом этапе корректируют микропрофиль штрихов, удаляя «навал» на нерабочей грани штриха с помощью ионного потока инертного газа. yandex.ru

Ещё один способ изготовления дифракционных решёток: rusneb.ru

1. Формирование штрихов заданной частоты в слое пластичного материала на полированной подложке. rusneb.ru
2. Удаление слоя пластичного материала посредством реактивного ионно-лучевого травления. rusneb.ru

Также для изготовления дифракционных решёток с периодом, меньшим длины волны света, могут использоваться процессы вакуумного нанесения металлических плёнок, нанесения резиста, чувствительного к потоку электронов, электронно-лучевой литографии с помощью растрового электронного микроскопа, реактивно-ионного травления металлической плёнки через проявленный рельеф в резисте и подложки через созданную в слое металла маску. www.ssc.smr.ru