Лавинный пробой в электронных устройствах происходит следующим образом: 14

1. В большинстве случаев носителями заряда в диэлектриках и полупроводниках выступают противоположно заряженные электроны и дырки (реже — электроны и ионы, или только один тип частиц, скажем, электроны). 1
2. Если в материале создано электрическое поле, при движении в нём частицы увеличивают свою энергию и могут генерировать дополнительные электронно-дырочные пары посредством ударной ионизации атомов вещества. 1
3. Вторичные электроны и дырки также начинают разгоняться электрическим полем и участвовать в ударной ионизации. 1 Нарастание числа задействованных носителей заряда происходит лавинообразно, отсюда название пробоя. 1

Лавинный процесс может наступить при работе любого транзистора, если напряжение на его переходах превысит (даже кратковременно) определённое для данного экземпляра полупроводникового прибора значение. 2

Лавинный пробой может происходить в двух режимах: обратимом и необратимом. 3 В некоторых материалах, если быстро снизить напряжение ниже критического значения, процесс пробоя может быть обращён вспять. 3 Это происходит потому, что образовавшиеся электронно-дырочные пары успевают рекомбинировать, прежде чем нанести необратимый ущерб кристаллической решётке материала. 3 В других веществах или при более интенсивных условиях пробой становится необратимым. 3