Силициды в современной микроэлектронике применяются в различных областях, например:

• Создание низкоомных контактов. 1 Силициды металлов, обладая высокой стабильностью, термической устойчивостью и хорошей адгезией к поверхности кремния, образуют тесный контакт металл-полупроводник с кремнием и обеспечивают высокую стабильность электрических характеристик изготавливаемых приборов. 3
• Создание поверхностно-барьерных диодов. 1 Также силициды могут использоваться в качестве высокочувствительных фотоприёмников. 1
• Электроды затворов МДП-приборов. 1 Силициды могут служить базовым материалом для новых технологических процессов производства сверхбольших интегральных схем будущих поколений. 1
• Межэлементные плёночные электрические соединения. 1 Силициды могут использоваться для создания токонесущих соединительных дорожек между элементами интегральных схем. 1
• Оптоэлектронные устройства длительного хранения информации. 1 Силициды могут применяться в процессах твёрдофазной эпитаксии, ионной имплантации тугоплавких металлов через тонкие слои силицидов. 1