Как применяются силициды в современной микроэлектронике?

Силициды в современной микроэлектронике применяются в различных областях, например:

• Создание низкоомных контактов. www.dissercat.com Силициды металлов, обладая высокой стабильностью, термической устойчивостью и хорошей адгезией к поверхности кремния, образуют тесный контакт металл-полупроводник с кремнием и обеспечивают высокую стабильность электрических характеристик изготавливаемых приборов. doklady.bsuir.by
• Создание поверхностно-барьерных диодов. www.dissercat.com Также силициды могут использоваться в качестве высокочувствительных фотоприёмников. www.dissercat.com
• Электроды затворов МДП-приборов. www.dissercat.com Силициды могут служить базовым материалом для новых технологических процессов производства сверхбольших интегральных схем будущих поколений. www.dissercat.com
• Межэлементные плёночные электрические соединения. www.dissercat.com Силициды могут использоваться для создания токонесущих соединительных дорожек между элементами интегральных схем. www.dissercat.com
• Оптоэлектронные устройства длительного хранения информации. www.dissercat.com Силициды могут применяться в процессах твёрдофазной эпитаксии, ионной имплантации тугоплавких металлов через тонкие слои силицидов. www.dissercat.com