Как прецизионные технологии применяются в производстве микроэлектромеханических систем?

Прецизионные технологии применяются в производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС) для создания приводов субмиллиметрового размера. inner.su

Некоторые способы использования:

• Применение специализированных пьезоэлектрических микроприводов, электромагнитных актуаторов и безкорпусных микродвигателей. inner.su Их характерная особенность — ограниченный ход (от долей микрометра до нескольких миллиметров) при высокой точности позиционирования. inner.su
• Использование микролитья под давлением. www.moldall.com Эта технология облегчает создание сложных и крошечных структур, необходимых для МЭМС. www.moldall.com Например, с её помощью изготавливают чувствительные элементы датчиков давления в шинах автомобилей. www.moldall.com
• Применение прецизионных систем совмещения и экспонирования. www.tech-e.ru Такие установки обеспечивают высокую точность совмещения, гибкость и лёгкость в использовании. www.tech-e.ru

Производство МЭМС начинается с создания механических структур (пружин, балок, шестерёнок) с помощью фотолитографии, травления и процессов производства полупроводников. www.fscircuits.com Затем эти механические элементы интегрируются с электрическими компонентами (транзисторами и конденсаторами) для формирования законченных систем. www.fscircuits.com