Контроль герметичности вакуумных систем обеспечивается с помощью различных методов: 12

• Масс-спектрометрический метод. 13 Основан на увеличении концентрации исследуемого газа на одной стороне исследуемой поверхности и отборе проб газа для масс-спектрометрии на другой стороне. 1 Метод позволяет не только количественно определить утечку, но и указать её местонахождение. 1
• Вакуумный метод. 12 Внутри тестируемого объекта создаётся разрежение с помощью вакуумной откачной системы, а тестовый газ подаётся снаружи объекта. 2 К вакуумной системе параллельно подключается течеискатель. 2 При наличии негерметичностей газ проникает в полость тестируемого объекта и регистрируется течеискателем. 2 О степени негерметичности говорит величина зарегистрированного потока тестового газа. 2
• Компрессионный метод. 12 Тестовый газ под давлением подаётся уже в полость самого объекта, а утечки регистрируются снаружи. 2 Для поиска локальных утечек используется щуп, подключаемый напрямую к течеискателю. 2 Щуп позволяет в постоянном режиме производить забор атмосферного воздуха из зоны предполагаемой течи. 2 Тестовый газ, проникая сквозь негерметичности, выходит в атмосферу, где, при прохождении щупом вероятных мест утечки, обнаруживается течеискателем. 2
• Манометрический метод. 5 Наиболее прост и удобен для оценки степени герметичности вакуумной системы, имеющей собственные средства откачки и измерения давления, так как не требует специального оборудования. 5 Этим методом может быть определено суммарное натекание в систему и могут быть выявлены единичные течи. 5