Лазерные технологии положительно влияют на развитие микроэлектроники. 2 Вот некоторые способы:
- Обработка новых и традиционных материалов. 4 Например, создание топологии микросхем, обработка тонкоплёночных элементов, обработка кремния. 4
- Создание 3D-структур. 4 Например, объёмных сенсоров, СВЧ-компонентов, приборов терагерцового диапазона. 4
- Увеличение плотности компоновки и создание сверхбольших ГИС. 4
- Разработка интеллектуальных систем. 4 Например, MEMS-датчиков и приборов на основе тонкоплёночной технологии. 4
- Создание сверхлёгких гибких компонентов, мембран, панелей. 4
Также лазерные технологии позволяют сократить число технологических операций и общее время изготовления изделий, избежать износа инструмента и во многих случаях обойтись без специальных оснасток, шаблонов, пресс-форм. 2