С момента первого изобретения дифракционных решёток, которое произошло примерно в 1785 году, технология их изготовления значительно изменилась, в частности:
- В ранних конструкциях дифракционная решётка представляла собой ряд очень тонких проволочек или нитей, навитых на два параллельных винта, которые выполняли роль распорок. cyberleninka.ru
- В 1882 году Роуланд изобрёл специальную гравировальную машину, которая наносила периодические штрихи с ошибкой, не превышающей одной трёхсоттысячной доли дюйма. cyberleninka.ru
- В 1935 году Стронг ввёл вакуумное осаждение тонких металлических плёнок, и решётки стали наносить на тонком слое металла (алюминия) на поверхности стеклянной подложки, а не непосредственно на подложку из металла. www.dissercat.com
- В 1955 году Дж. Харрисон впервые применил интерферометр (измерительный прибор, использующий явление интерференции волн) для контроля перемещения алмазного резца. scfh.ru
- В 1960-х годах была разработана технология изготовления дифракционных решёток, основанная на создании периодического распределения интенсивности в специальных фотоматериалах в результате интерференции лазерного излучения. scfh.ru
- В настоящее время для формирования дифракционного микрорельефа используется множество методов с применением разнообразных активных сред: фокусируемых электронных и ионных пучков, газов, кислот, резистов, полимерных композиций, алмазных резцов. cyberleninka.ru
Также важную роль в промышленном использовании дифракционных решёток сыграло развитие технологии копирования, что позволило значительно снизить их стоимость. old.holoexpo.ru