Фотолитография применяется в производстве печатных плат для получения определённого рисунка на поверхности материала. ru.wikipedia.org
Суть процесса: на обрабатываемую поверхность наносят тонкую фоточувствительную полимерную плёнку (фоторезист). ru.wikipedia.org Затем эта плёнка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. ru.wikipedia.org Далее проэкспонированные участки удаляют в проявителе. ru.wikipedia.org
В производстве печатных плат фотолитография используется для создания как внутренних, так и внешних слоёв. a-contract.ru www.rezonit.ru
Фотолитография внутренних слоёв включает следующие этапы: dzen.ru
- Химическая подготовка. dzen.ru На поверхности меди развивается шероховатость, необходимая для наилучшей адгезии фоторезиста. dzen.ru www.rezonit.ru
- Автоматическое ламинирование. dzen.ru Сухой плёночный фоторезист наносят на заготовку при помощи горячих валов. dzen.ru www.rezonit.ru
- Экспонирование. dzen.ru www.rezonit.ru Происходит на установках прямого лазерного экспонирования без использования фотошаблонов. dzen.ru www.rezonit.ru
- Проявление рисунка. dzen.ru www.rezonit.ru Участки фоторезиста, которые не подвергались экспонированию, растворяются в проявочном растворе, обнажая медь, которую необходимо удалить. dzen.ru www.rezonit.ru
- Контроль качества. dzen.ru После этого заготовки передают на травление внутренних слоёв. dzen.ru
Фотолитография внешних слоёв включает такие шаги: a-contract.ru
- Очистка панели. a-contract.ru Используют химическую очистку для плат с толщиной покрытия менее 5 мкм или механическую с использованием абразивных щёток для плат с толщиной осаждённой меди 5 и более микрометров. a-contract.ru
- Нанесение фоторезиста. a-contract.ru Слои фоторезиста наносят на поверхность панели с помощью различных технологий, таких как шпиндельное нанесение или распыление. a-contract.ru
- Печать изображения. a-contract.ru Используют прямой лазерный перенос (LDI) для печати изображения на фоторезисте с высокими точностью и разрешающей способностью. a-contract.ru
- Создание отпечатков цепей внешних слоёв. a-contract.ru Затем их используют для нанесения покрытия и формирования окончательного вида схем на плате. a-contract.ru
Фотолитография позволяет получать высокоточные схемы с минимальными отклонениями, что важно в производстве сложных печатных плат. a-contract.ru