Гироскоп эволюционировал от механического устройства до современных технологий, в том числе MEMS, с несколькими ключевыми этапами:

Создание в XIX веке: гироскоп изобрёл Иоанн Боненбергер и опубликовал описание своего изобретения в 1817 году. 38 Главной частью гироскопа был вращающийся массивный шар в кардановом подвесе. 3 В 1832 году американец Уолтер Р. Джонсон придумал гироскоп с вращающимся диском. 38 В 1852 году французский учёный Фуко усовершенствовал гироскоп и впервые использовал его как прибор, показывающий изменение направления движения. 35

Применение в навигации: в 1860-х годах гироскоп начали использовать в навигации, объединив с компасом. 10 Получившийся гирокомпас облегчал жизнь морякам на судне, когда нужно было пройти через шторм. 10 В начале XX века немецкий инженер Герман Аншютц-Кемпе разработал первый рабочий гирокомпас, который использовал гироскоп для определения направления. 1

Использование в авиации: в XX веке гироскопы стали использоваться в самолётах, ракетах и подводных лодках вместо компаса или совместно с ним. 35 В условиях, когда магнитные компасы уже не могли обеспечить точность, гироскопы доказали свою надёжность и стали неотъемлемой частью авиационного оборудования. 1

Переход к твердотельным гироскопам: к 70-м годам прошлого столетия обозначился переход от механических к твердотельным гироскопам — сначала к лазерным, затем к волоконно-оптическим. 8 Это позволило резко уменьшить вес и размер гироскопических приборов. 8

Появление MEMS: в 1964 году компания Westinghouse выпустила первую серийную МЭМС — резонансный затворный транзистор. 4 А английская компания Silicon Sensing произвела первый МЭМС-гироскоп в 1985 году. 4 Современные гироскопы, основанные на MEMS-технологии, стали настолько маленькими, что могут поместиться даже в очках виртуальной реальности. 1