Как чиллеры помогают в производстве полупроводников?

Чиллеры помогают в производстве полупроводников, обеспечивая стабильную температуру в системах, где это критически важно. www.business-gazeta.ru

Некоторые способы, как чиллеры влияют на процессы производства полупроводников:

• Контроль температуры в процессе химического осаждения из паровой фазы (CVD). ru.lneya.com Чиллеры охлаждают стенки реакционной камеры, теплообменники и теплообменники для предварительного нагрева газа. ru.lneya.com Это позволяет поддерживать стабильную температуру камеры и точно контролировать толщину плёнки, её однородность и химические реакции. ru.lneya.com
• Контроль температуры в процессе травления. ru.lneya.com tg-tk.ru И при сухом, и при мокром травлении необходим точный контроль температуры. ru.lneya.com Чиллеры поддерживают температуру травильного оборудования и химической ванны, что влияет на скорость травления, коэффициент отбора и графическую точность. ru.lneya.com
• Охлаждение источника ионов и целевой камеры. ru.lneya.com Чиллеры контролируют температуру, предотвращают перегрев, который может повлиять на дисперсию энергии ионов, и обеспечивают точность глубины инъекции и дозировки. ru.lneya.com
• Контроль температуры в процессе тепловой обработки. ru.lneya.com Чиллеры регулируют температуру печи, чтобы обеспечить равномерную температуру, которая влияет на скорость диффузии, активацию и распределение примесей. ru.lneya.com
• Контроль температуры в оборудовании для тестирования. ru.lneya.com Чиллеры регулируют температуру среды тестирования, чтобы обеспечить стабильность оборудования и воспроизводимость результатов тестов, особенно при высоких или низких температурах. ru.lneya.com

Таким образом, чиллеры играют важную роль в обеспечении качества и надёжности полупроводниковых устройств, так как даже небольшие колебания температуры могут привести к дефектам в продукции. www.business-gazeta.ru