Спектроскопия потерь энергии электронов при геометрии отражения применяется в следующих областях:

• Исследование структуры и свойств приповерхностного слоя. 1 Метод позволяет получать информацию о толщине слоя, который примерно равен длине свободного (по отношению к неупругому взаимодействию) пробега электрона. 1
• Анализ дисперсии поверхностных фононов. 1 Также с помощью этого метода исследуют адсорбционно-десорбционные процессы и реакции на поверхности, механические напряжения, возникающие в приповерхностном слое твёрдого тела при нанесении различных покрытий. 1
• Изучение межфазовых границ в полупроводниковых структурах, включая сверхрешётки. 1
• Определение плотности электронов, участвующих в плазменных колебаниях. 25
• Химический анализ образцов, включая определение распределения элементов по глубине. 25