В чем заключаются преимущества металлоорганической эпитаксии по сравнению с молекулярно-лучевой эпитаксией?

Преимущества металлоорганической эпитаксии (МОЭ) по сравнению с молекулярно-лучевой эпитаксией (МЛЭ) заключаются в следующем:

• Простота и устойчивость процесса роста. solid.phys.spbu.ru МОЭ не требует дорогостоящего оборудования и обладает высокой производительностью. www.unn.ru
• Большая скорость роста (около 10 мкм/час). solid.phys.spbu.ru
• Более дешёвые ростовые материалы. solid.phys.spbu.ru

Преимущества МЛЭ:

• Низкая температура процесса. portal.tpu.ru Это уменьшает диффузию примеси из подложки и автолегирование, что позволяет получать качественные тонкие слои. portal.tpu.ru
• Высокая точность управления уровнем легирования. portal.tpu.ru Легирование при использовании МЛЭ является безинерционным, что позволяет получать сложные профили легирования. portal.tpu.ru
• Возможность резкого прерывания и возобновления роста. portal.tpu.ru Это важно для формирования многослойных структур с резкими границами между слоями. elib.gsu.by
• Возможность применения аналитических методов контроля в процессе роста. portal.tpu.ru Это позволяет управлять процессом роста на атомарном уровне, получать структуры с низкой степенью загрязнения. portal.tpu.ru