В чем заключаются преимущества кремниевых резонансно-частотных датчиков давления перед другими типами?

Некоторые преимущества кремниевых резонансно-частотных датчиков давления перед другими типами:

• Стабильность. cyberleninka.ru www.cta.ru Масса резонатора неизменна, а его геометрические размеры и форма жёстко зафиксированы кристаллической решёткой. cyberleninka.ru www.cta.ru Это позволяет гарантировать стабильность во всём диапазоне рабочих условий, включая перегрузки по давлению. cyberleninka.ru www.cta.ru
• Устойчивость к внешним воздействиям. www.cta.ru Геометрические размеры кремниевых резонаторов меньше подвержены влиянию температуры и статического давления, чем электрические характеристики (сопротивление, ёмкость). www.cta.ru
• Отсутствие промежуточного аналого-цифрового преобразования. cyberleninka.ru www.cta.ru Деформация непосредственно преобразуется в частоту выходного сигнала, что упрощает схему обработки измерительного сигнала. cyberleninka.ru
• Высокая точность. etalon-chel.ru portal.tpu.ru Резонансные частоты измеряются непосредственно цифровыми счётчиками с очень высокой точностью. etalon-chel.ru portal.tpu.ru
• Иммунитет к вибрации. etalon-chel.ru portal.tpu.ru Собственные частоты резонаторов (порядка 90 кГц) лежат далеко за пределами спектра промышленных шумов. etalon-chel.ru portal.tpu.ru
• Возможность одновременного измерения нескольких величин. portal.tpu.ru Дифференциальный резонансный сенсор позволяет одновременно измерять сразу три величины: разность давлений, статическое давление и температуру. portal.tpu.ru