Преимущества использования атомно-силового микроскопа (АСМ) в трибологических исследованиях:

• возможность охарактеризовать локальные свойства образца, такие как шероховатость или модули упругости на нано- и микромасштабе; 2
• прямое определение высоты образца с субнанометровым разрешением; 2
• возможность измерять локальное трение; 2
• возможность оценивать морфологию поверхности в исходном состоянии и определять силы и коэффициенты трения поверхностного слоя, не разрушая плёнки. 3

Недостатки использования АСМ в трибологических исследованиях:

• наличие артефактов, связанных с силами, направленными вдоль поверхности около ступеней; 4
• при сканировании на воздухе на зонд действуют капиллярные силы, вносящие погрешность в определение высоты поверхности; 4
• практически непригоден для изучения формы биологических объектов и органических материалов; 4
• из-за низкой скорости развёртки АСМ получаемые изображения оказываются искажёнными тепловым дрейфом, что уменьшает точность измерения элементов сканируемого рельефа. 4