Основные различия между индукционным и ёмкостным способами возбуждения плазменного разряда:

1. Индукционный разряд возбуждается (индуцируется) магнитным полем. 13 Разряд возбуждается путём подачи переменного тока в соленоид, внутри которого расположен реактор из диэлектрического материала. 2
2. Ёмкостной разряд возбуждается и поддерживается за счёт электрического поля (постоянного или переменного). 13 Переменное напряжение подаётся на электроды, которые могут находиться в непосредственном контакте с плазмой либо быть изолированными от неё. 2

При прочих равных условиях индукционный разряд характеризуется существенно более высокой концентрацией электронов по сравнению с ёмкостным разрядом. 1