Основные преимущества полупроводниковых диодов по сравнению с вакуумными:

• значительно меньшие размеры и вес; 2
• механическая прочность; 2
• долговечность; 2
• не требуют расхода энергии на накал; 2
• не требуют отвода тепла; 2
• меньшее падение напряжения. 2

Основной недостаток полупроводниковых диодов — зависимость их параметров от температуры: они могут работать в ограниченном интервале температур (от – 70 °С до + 125 °С). 9

Некоторые преимущества вакуумных диодов:

• отсутствие эффекта протекания реверсного тока, что обеспечивает полное отсутствие паразитных колебаний в моменты коммутации тока; 1
• очень маленькая и практически независимая от обратного напряжения проходная ёмкость. 1