Основные отличия между поверхностной и объёмной электризацией материалов заключаются в следующем:

1. Глубина локализации внедренного электрического заряда. 15 При поверхностной электризации он локализуется на глубине 20–30 мкм, а при объёмной — на глубине 0,5–2 см. 15
2. Физические процессы накопления заряда. 15 При поверхностной электризации они определяются вторично-эмиссионными процессами, включая фотоэлектронную эмиссию. 15 При объёмной электризации вторично-эмиссионные токи не оказывают влияния на процесс формирования внедрённого объёмного заряда. 15
3. Временные характеристики процессов. 15 При поверхностной электризации продолжительность заряжения изменяется от долей секунды до десятков минут, а при объёмной — измеряется часами. 15