В чём заключается принципиальное отличие просвечивающего и сканирующего электронных микроскопов?

Принципиальное отличие просвечивающего (ПЭМ) и сканирующего (СЭМ) электронных микроскопов заключается в глубине анализа. usps.ru

ПЭМ используется для изучения внутренней структуры образца с атомной детализацией. usps.ru Изображение строится на основе пропущенных через тонкий образец электронов. usps.ru ПЭМ подходит для анализа кристалличности, наночастиц, вирусов, клеток, изучения атомных дефектов и фазовых границ. usps.ru

СЭМ генерирует изображения образца путём сканирования его поверхности сфокусированным пучком электронов. new-science.ru Электроны взаимодействуют с атомами в образце и генерируют сигналы, которые содержат данные о составе образца и топографии поверхности. new-science.ru Поскольку СЭМ отображает только поверхность, а не внутреннюю часть образцов, он обеспечивает низкое разрешение изображения по сравнению с ПЭМ. new-science.ru

Некоторые другие отличия:

• Источник сигнала. usps.ru В СЭМ основными источниками сигнала для изображения являются вторичные электроны и обратнорассеянные электроны, а в ПЭМ — пропущенные через образец электроны. usps.ru ru.ciqtekglobal.com
• Ускоряющее напряжение. usps.ru СЭМ обычно работает при ускоряющем напряжении порядка 1–30 кВ, а ПЭМ — при 30–300 кВ, иногда выше. usps.ru
• Требования к образцу. usps.ru СЭМ допускает относительно «толстые» образцы, но требует проводящего покрытия, а ПЭМ требует очень тонких (до 100 нм и меньше) образцов, способных пропускать электронный пучок. usps.ru