Принцип действия ионизационного манометра основан на том, что определённую часть молекул или атомов газа, давление которого нужно измерить, ионизируют, то есть превращают в положительно заряженные ионы. 2

Процесс происходит так: 2

1. Электроны, ионизирующие газ, испускаются нитью накала, являющейся катодом. 2
2. Испущенные катодом электроны ускоряются электрическим полем между катодом и сеткой, потенциал которой поддерживается положительным по отношению к катоду. 2
3. Электроны, прошедшие сквозь сетку, ионизируют газ в пространстве между сеткой и коллектором, потенциал которого поддерживается отрицательным по отношению к сетке. 2
4. Положительные ионы, образовавшиеся при ионизации газа, движутся к коллектору, создавая ионный ток. 2 Электроны же возвращаются назад к сетке. 2

Если мощность ионизатора постоянна, то сила ионного тока пропорциональна плотности ионов (то есть числу их в единице объёма). 2 Последняя, в свою очередь, пропорциональна давлению газа. 2

Измерение тока коллектора позволяет определить давление газа. 1