Основной принцип работы электростатических анализаторов атомов заключается в использовании электрического поля для обеспечения прохождения только тех ионов или электронов, которые обладают заданной удельной энергией. en.wikipedia.org
Обычно такие анализаторы также фокусируют частицы (концентрируют их) на меньшей площади. en.wikipedia.org
Процесс работы: inp.nsk.su
- Нейтралы перезарядки, покидающие плазму, проходят через вакуумный канал и попадают на обдирочную фольгу анализатора. inp.nsk.su
- Обдирочная фольга представляет собой плёнку из углерода толщиной 10 нм, при прохождении которой быстрые атомы с вероятностью 10–40% отдают электрон и становятся ионами. inp.nsk.su
- Обдирочная фольга находится под потенциалом, который ускоряет образовавшиеся в результате обдирки ионы. inp.nsk.su
- Эти ионы фокусируются электростатической линзой и направляются в магнит-сепаратор. inp.nsk.su
- Магнит-сепаратор на основе постоянных магнитов создаёт стационарное поле, поперечное к направлению движения ионов. inp.nsk.su
- Радиус поворота ионов в магнитном поле зависит от скорости иона, что обеспечивает разделение ионов по энергиям. inp.nsk.su
- Если ставится задача разделения ионов по массам, то после магнита-сепаратора устанавливается конденсатор, с помощью которого частицы, движущиеся по одинаковым траекториям, но имеющие разную массу, приобретают различный поперечный импульс. inp.nsk.su
- Пространственно разделённые ионы с различной энергией и массой принимаются и регистрируются двумя линейками детекторов, каждая из которых регистрирует ионы определённой энергии. inp.nsk.su