Принцип работы интерферометра Физо основан на интерференции световых волн и происходит в промежутке между двумя отражающими поверхностями. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
Процесс происходит так: ru.wikipedia.org
- Выходящий из источника когерентного излучения пучок лучей фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
- После прохождения светоделителя коллимирующим объективом расходящийся пучок преобразуется в параллельный. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
- Для контроля поверхностей используются эталонные насадки, представляющие собой объектив, последняя поверхность которого является эталоном, концентрична его фокальной точке. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
- Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
- В обратном ходе лучи, отражённые от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя (полупрозрачного зеркала), формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости, оптически сопряжённой с плоскостью контролируемой поверхности. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
Интерферометр Физо применяется, в основном, для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru