Принцип работы интерферометра Физо основан на интерференции световых волн и происходит в промежутке между двумя отражающими поверхностями. 12

Процесс происходит так: 1

1. Выходящий из источника когерентного излучения пучок лучей фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся. 12
2. После прохождения светоделителя коллимирующим объективом расходящийся пучок преобразуется в параллельный. 12
3. Для контроля поверхностей используются эталонные насадки, представляющие собой объектив, последняя поверхность которого является эталоном, концентрична его фокальной точке. 12
4. Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива. 12
5. В обратном ходе лучи, отражённые от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя (полупрозрачного зеркала), формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости, оптически сопряжённой с плоскостью контролируемой поверхности. 12

Интерферометр Физо применяется, в основном, для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем. 12