Разница между сканирующей и просвечивающей электронной микроскопией заключается в принципе работы и получаемой информации:

1. Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) позволяет получать изображения поверхности исследуемого образца с высокой разрешающей способностью. 1 В оборудовании сфокусированный электронный пучок средней энергии сканирует образец. 1 Методики СЭМ помогают не только изучать свойства поверхности, но и получать наглядную информацию о структурах, расположенных на несколько микрон ниже верхнего слоя. 1
2. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) предполагает изучение тонких образцов с помощью пучка электронов, проходящих сквозь них и взаимодействующих с ними. 5 В микроскопах, работающих по этой технологии, на объект воздействует пучок ускоренных электронов, обладающих энергией от 50 до 200 кэВ. 1 Те электроны, которые образец не пропустит, будут отклоняться на небольшой угол. 1 И они, и те, которые пройдут через исследуемый объект с незначительными энергетическими потерями, попадают на магнитные линзы. 1 В результате на фотоплёнке или люминесцентном экране формируется изображение внутренней структуры. 1