Разница между методами createFile и createDirectory в Java NIO заключается в том, что первый создаёт файл, а второй — каталог. 12

createFile создаёт новый и пустой файл, при этом не работает, если файл уже существует. 15 Все элементы пути к файлу должны существовать, кроме имени файла, иначе возникнет исключение IOException. 2

createDirectory создаёт новый каталог. 12 Проверка на существование файла и создание каталога, если его нет, выполняются за одну операцию, которая является атомарной относительно всех других действий файловой системы. 13