В чем разница между фотолитографией и другими методами микролитографии?

Разница между фотолитографией и другими методами микролитографии заключается в способе воздействия на слой резистивного материала при выполнении операции экспонирования. www.hse.ru

Некоторые другие методы микролитографии и их особенности:

• Рентгенолитография. www.hse.ru dic.academic.ru Один из наиболее высокоразрешающих методов литографии. www.hse.ru Позволяет получить рисунок с размерами элементов 0,1 мкм и менее. www.hse.ru
• Электронолитография. dic.academic.ru prezi.com Использует сфокусированные потоки электронов или ионов с длиной волны 10–3…10–5 нм. prezi.com Первый метод обладает высокой производительностью, но требует сложных шаблонов и имеет ограниченную разрешающую способность. dic.academic.ru Второй метод позволяет достичь разрешения лучше 0,1 мкм и формировать изображение без помощи шаблона путём прямого управления лучом с помощью ЭВМ. dic.academic.ru
• Ионолитография. prezi.com Обладает свойствами сканирующей электронолитографии, но эффект обратного рассеяния здесь выражен значительно слабее. prezi.com

Фотолитография, в свою очередь, использует ультрафиолетовое (УФ) излучение с длиной волны 310–450 нм. www.hse.ru

Таким образом, каждый из методов микролитографии имеет свои особенности и области применения, в зависимости от требуемого уровня разрешения и других факторов.