В чем преимущества спектроскопии упругого отражения электронов для исследования поверхности твердых материалов?

Некоторые преимущества спектроскопии упругого отражения электронов для исследования поверхности твёрдых материалов:

• Возможность послойного анализа. cyberleninka.ru Исследование упругого отражения электронов при изменении их энергии и угла падения на мишень позволяет проводить анализ приповерхностной области твёрдого тела. cyberleninka.ru
• Неразрушающий характер. cyberleninka.ru new-disser.ru Метод анализа упругого рассеяния позволяет исследовать приповерхностную область образца без разрушения поверхности. cyberleninka.ru
• Получение количественной информации. cyberleninka.ru Исследования упругого отражения электронов позволяют установить элементный состав поверхности, определить вероятность поверхностных потерь, величину внутреннего потенциала и другие параметры. cyberleninka.ru
• Применение для анализа неоднородных структур. cyberleninka.ru С практической точки зрения, спектроскопия упругого отражения электронов важна для анализа гетерогенных структур. cyberleninka.ru
• Использование предпочтительного диапазона энергий. new-disser.ru fizmathim.com В среднем диапазоне энергий (0,1–10 кэВ) глубина анализа находится в пределах от долей до десятков нанометров, что оптимально для диагностики наноструктур. new-disser.ru fizmathim.com