Некоторые преимущества сканирующей электронной микроскопии по сравнению с другими методами исследования материалов:

• Прямое мгновенное формирование изображения. 1 Это позволяет наблюдать быстропротекающие процессы. 1
• Широкий диапазон легко изменяемых увеличений. 1
• Большая глубина фокуса при высоком разрешении. 1 Это даёт возможность отчётливо и одновременно наблюдать мельчайшие объекты и их агломераты, сильно отличающиеся по размерам. 1
• Возможность дифракционного исследования. 1 Это позволяет получать разнообразную информацию о внутренней структуре любого объекта конденсированного состояния: строении, упорядочении, дефектности и т. п.. 1
• Возможность микрорентгеноспектрального (элементного) анализа и фазового анализа. 1
• Относительная лёгкость в интерпретации полученных изображений благодаря их трёхмерному представлению. 2
• Сравнительно низкие требования к пробоподготовке. 2