В чем преимущества оже-спектроскопии перед другими методами анализа поверхности?

Некоторые преимущества оже-спектроскопии перед другими методами анализа поверхности:

• Малая глубина анализа. irbis.amursu.ru rep.bntu.by Метод позволяет исследовать тонкую приповерхностную область толщиной 0,5–2,0 нм. irbis.amursu.ru
• Возможность количественного анализа. irbis.amursu.ru Оже-спектроскопия позволяет определять концентрацию атомов различных элементов на поверхности. irbis.amursu.ru rep.bntu.by
• Быстрота получения информации. irbis.amursu.ru Метод даёт сведения обо всех элементах на поверхности, о состоянии и количестве этих элементов. irbis.amursu.ru
• Неразрушающий метод. irbis.amursu.ru Оже-спектроскопию принято считать неразрушающим методом, однако в некоторых случаях электронно-стимулированные процессы могут приводить к нежелательным побочным эффектам. irbis.amursu.ru
• Возможность получения карт распределения элементов. rep.bntu.by Сканирующая оже-спектроскопия позволяет получать карты распределения различных элементов с разрешением в несколько десятков нанометров. rep.bntu.by
• Возможность трёхмерного анализа состава объектов. rep.bntu.by Современные приборы дополнительно снабжены источниками ускоренных ионов, которые могут послойно стравливать образцы. rep.bntu.by