Некоторые преимущества интерферометрических методов измерения в промышленности:

• Высокая точность. 13 Интерференционные методы позволяют измерять рельеф технических поверхностей с разрешением более 0,2 мкм, погрешностью менее 1 мкм. 2
• Бесконтактность. 24 Измерение происходит оптическими бесконтактными методами в автоматическом режиме. 2
• Высокая производительность. 2 Интерферометрические методы позволяют измерять большое количество точек в секунду. 2
• Возможность проведения разномасштабных измерений. 4 Например, при определении внутренних напряжений это означает, что можно измерить напряжения разной степени локализации. 4
• Применение в различных областях. 15 Интерферометры используют для контроля качества оптических систем, измерения шероховатости, трёхмерного профилирования поверхности в труднодоступных местах и в агрессивных средах и других задач. 5